镜的研发透成功只是第一步。光
的制造难度极大，但主要的拦路刻机虎一共有四条。第
少也是微求极高，一台部件要求精度达到亚这工精度需要零部件的加密要求的制造精度最密～200纳米。制造精度要米级，绝大多数精，极少数超高精光刻机数万个零件，微米级一是到00纳米达
，根本做。技术精度，以国内现行的加不到样高的人工
十年磨一亚微米级剑的精神，也磨不出，，就算秉持着八级技工的手工打磨最高精度仅能达到力有时而穷0微米的极高精密零件。不精度只有0
，完全达到了度一百已经不是问题说，这过对于钢铁城工设个别超加工要求。等一系列加新研发的自动车床、铣纳米的水平多床、磨床。实验工厂来高精密零部件的备，均达到了最高精
光度的透镜。第第二个是高透
件。拦路虎，则是光刻机的三个行动部
光源。芯，就是短波激光最后一个
。要光刻的精聚焦，对以说进行刻蚀。它的运动控劣，直接决定了度，而移动速台的移是光刻机最度，又决定了产率，可核心的子系统光刻胶动，来改变光刻片光刻，是通制部件优过工作
纳米移动。实佳的对焦调保证最好是一个非常小，最纳米一个整，工作台的最小移动距离必须
制作中当然达不到际这样的精度。
300纳米。加上光源了三百五十纳米。其刻效果，最小线宽达到以飞利浦最新款的光波长，它的光动距离实际只有刻机为例，它的最小移
区别也差距不大。多也是，有同一水平他厂商差不
先进的光刻机制程能力国际最这就是当前。
所谓一代设备，一代产品。
的制程工艺。最新的奔腾22处理0纳米线宽器，采用的就是35
对李莲道：“你们边进度这白云天进入到实验室，怎么样？”
“非给了他一个笑脸。她常顺利！”李莲
统带领的小组，负责制造光机最关键的工作台子系刻是运动部件。重要的就，其中最
保证运动的稳为了定性，移动不是普通导轨，而是空气悬浮导部分轨。
制造从算太大。难度来说，它不
也没有。枪换炮的钢铁城来纳米的说加工精度，对才鸟无非是一两百一点难度
能验算出怎样设计才为光刻机研制的业需要的产品台稳定性的拦路虎，还是因为导之所以它会成从而设计出满足工的流体力学知识，才。偏到非常高深会将气流对工作轨设计需要运用影响降到最低，
偏这一点，对白云成阻碍。天最不构
史回顾》！从谁让他有《制造
代的像盲人在旷的角度来研好说，这时野中摸索。其他人就科
路上的沟坎、前方究竟是倒，然后还要努力分辨，亦障碍物绊是崎岖难行的山路或是高不可攀的山峰。只悬崖，还他们要很小心才不会
到一条前进的道路。但能花费巨大代价，有通过空气流动、潺潺水声，他们才找
重新寻找别的途径即便如此，也许跟与。在这个过程者相互别人某条其他探路，还是会走入死胡同，不得不又退回到起点，他们也尽流、空气前行着水是死路，交流信息，告诉路可能走得通，某条路可能。让他们不要再去尝试中，
人类文明但，都艰辛无比。每前进一步
白云天不同。
对四面八家，一落地，就的道路有着完整的认知，绝对不会走错。决方他就如同开了全图的玩
样的交通工具。是寻路怎的过程，而是有着定他前进速度的，从来不
更轻松，还有空看看美丽捡到一点不知道他可以一直用这钱去买确的道岔路，在地上的风景。一辆自路上骑得更快、谁丢的钱。随后行车，在接下来的，他就可以路上，偶尔步入一个走在正
这样。其光刻机的制造就是
发设备，潜心研究数年，中途还要用利益跟其他能艰难地前行一步。需要投入他光刻机巨头，人交换技术，才最好的研研发人员，用重金，请最优秀的
然而白云天不需要。他
道自己在做什么样的在一开始，就清楚地知东西，如何去做。
技术够了，不需要自己的只出来。这少次，就能将东西做要试多
员是不公平的。但对这时代的其他科研人
公平！这世界，从来没有
落后就要挨打的至理箴，这是永世不变言！
定地走在自己的路上白云。感受，他只是根据自己的目标，坚天从来不需要顾虑他人的
易就做了出来。透镜、工作台很容
个工作台当将惯常的一做了巨大改动，设计，对工作台并且他还根据后世，改为了双工作台。
一即就能进行下一道测量等前序工工序时，另一个工作台作台完成光刻，两个、则提前进行晶圆片更换、定位、微调了光刻效率。个工作台工作台换位，立光刻工序，极大地提升作。当那一个工正在进行光刻
，是唯一没有自造的。毕光源部分
波长统一为35禁场上的供应口的难度较大，很容易买到。白难度并不是特别大。国际市光刻机光源，止对华出商很多，全面竟汞灯只是纳米，其制造
也就没自内，直接购买造，云天为了省了一套。事，国而是通过
还是做了小幅改进。但是他就
射，从而达到聚焦效果。一定幅度的折是用将目镜浸入纯净液束波长进行体中的方式，对光
后世，这叫浸入式光在源。
技厂入实实验室研究商正在就此技术，进行阶段，尚未投现在各大光科用。既
为何不用？实，浸入式光源又能小手里有完整的技术幅改进光源聚焦，那又然白云天
。好际使用效果很
以后，34纳约束到了32纳米！米的光束波长被浸入式光源技术采用了
升了近40纳米350纳米技术，提比之英特尔使用的！
攻系统、光源等最大华新等人直接领导，光快得惊人，透在白云天的亲自指导刻机的制造进度克。经技术难点，一一被轻松的镜、工作台子监督下，有李莲、
台关熟悉制造工艺，一造完成光刻机，顺利得让所有参与蚀尺寸为200的就员感觉如在做梦。双工位，最大晶元制顺利建——其实过两个月的技术攻刻就是逐步造的技术人
“这就做好了？”当
还是不敢相通过，白云天宣试信这布光刻机研发系统测成功，其他人最后一块挡板合上，螺丝拧紧，对。连光个事实，不由窃窃私语刻机通电
装，两个月就做出下料到解决一系统，再到总个……一台这时代最先进的光刻机个技术问题，制作出子
这可能吗？就
熟练工，做一台出来也，有现成图纸、算国内光刻机间吧。“不止这点时厂家
知道了。”白有解释。有云人表情，笑了笑没天看着众行不行咱们试试不就
技术知，两刻机算什么。要识注入的新人亲自参与了高端制造他带着一种接受制造一台光个月
了两个月！像是没有专用机不床设备，哪要得
制造光刻机的asl就要卖几十上百台光刻机出去。，一年专门
台？这两月一
，早就破产倒闭了！么慢的生产速度
光刻掩白云膜板早就做好了，这是前技术极限。掩动手做的，达钢铁城当天、李莲亲自到了
，而是一套。光膜并非只有一个
所需的元，在硅晶元器件、连线等不同部胶，然后通过沉积掉需要加改变。逐步刻蚀加工部位的光刻、离子注入等方式，可能就只有极微小的工过程件。百道的漫长刻是个工序多达上，一道工序基片上生成
含了所一道光刻都只针对有一个包器件的裸晶片。由各种元百道工序之后，才会制破碎的，每一次因此整个过程是支离晶体管、电阻工序，经由数、电容等造出
，误差不能超过几工序漫长，每一道位，导致沉积个纳米。可、注入不到正确的位置，制造失败否则就会出现错工序的掩膜必须严格对准于。
想而知，掩膜版的精度要求是多么高。从
怎，众人只能看交错的细线，根本。到星星点点的点、和纵横电路是样的制成的掩膜版上不知道最终出来的
可工当然不果。研能马上就得出结序如此之长，
究人员虽然成功，研制团队解散以很好奇，但是他们还有别的研究工作只能回到本来的岗位，的研究工作完成上面交代下来后，他们也光刻机研发。要做，当白云天宣布继续
。了一个月后，白云天服，的晶圆片完成最后一道工序，小心翼翼摆放到眼看着一张亮、李莲等人穿着晶晶一身连套防护他们面前
见到的过切割裸晶片，还需要经芯片。只是、封装，才是大这还众平常所
托在手中的晶圆片。“得知众所期工作，聚了过来级较高的研究人员穿上连套防护服，进了奇地看着白云天小心人则站在玻璃墙外，好一次试制完成，。等待的第闻讯的研究人实验室，其他的员们都放下手头
白总地，这是什么集问道。“副主任好奇成电路？”一名实验室
云天没有继续保密，”白笑一款处理器！了谜底。“呵呵地解开
处理器！”所
亮，在这些性格沉稳的研究员小的骚动。眼睛一中，竟然发生了小的人都有听到
八舌机，所用的处理就是我们要研发的计算几位有资格进入实验住七嘴问道。处室的主任、副主任器？”那都激动起来，忍不“难道这
理器啊！国
步伐，早在七十年发了国产，从最开始就紧跟国20微机。ድ成电路的长城代，就仿外内搞了几十年集制了英特尔的8080，还以此为核心，研
城0520也好仿制的人家设计。，都是好，还是长可不管是8080也
说，在处理器一块，国可以出手的成绩。所内就没有任何拿得
都在发我们自己的有有识之。器，更遑论制造了自己焦虑，都在呼吁要研然没有设计出一款士的处理喊声再大，国内依中国芯。可是
产片空白！处理器依然是一，国迄今为止
城，就是处理器，所有用钢铁人都来的第一批集成听到白云天电路样品激动到无以自制。这一自制的光刻机，制造出现在咋
，这就是极大的成功！来肯定不的处理器，但能做出是自己设计
在颤抖。““白总，这是48？”旁边腾，还任，么处理器？是奔是什说话的声音都那位副主
情极道。所都不是！”白云天心好，逗趣地耸耸肩笑
的表情。有人都露出失望
让他们兴奋不已。他们根本不敢奢奔腾2，能够做出望自制的光刻已经足以早期的奔腾处理器就机，能制造出最新款的
若是不行，48也将就。可
制造出来又有什么用。做不出来，那这光刻是连48都机
强笑要一口一们有经验了，会有的，未来奔腾2也精度提上去们现在能做38也不错。现在我”一位副主任勉，奔腾……口地吃，没关系，我总能将光刻机的制造着，安慰道。“也好，饭总不是梦想以后我们慢慢改进，
的项目，怎么可能造造出来的一台只能制造38的白云天小线宽达到了装道：“我亲自主持你们，我们自制的光刻尔最新款的奔腾pr0.3微米！用它特要高五十机，最是00万，比英管！”，欢畅地笑还不下去了五万晶体光刻机！告诉这枚晶片，集成度
“哇！”
“不可能吧！”
”宽竟然比英特尔的还要机，线“我们自制的光刻细，这怎么可能？
室外，所有听副震惊的表情，验他的话经到的人都是一错了。习由通话器，传到实认为他一定是说
已经有了小小的自卑和、甚至超，了跟在人家背后亦中国人也能做出达到惯电路不自信，完全步亦趋，他们。过欧美的集成不敢相信
“等等，白总这枚处理器的集成度是其不是奔腾p万，那它肯定，您刚才说r，漏洞，立即叫了出来。中的那它是什么芯片？”ደ有人发现了白云天话
过来。白，也是迅速反应他人一听
pr还超出一筹。理器芯前就说了，这是一枚处然后又说它的集成度为0片，云天之0万，比奔腾
么集成度达到0的处理器！他的处理器了，哪还有什新款、最先进0万之巨可是奔腾pr就是最
是在开玩笑。一定
人脸上一松，可是心有些隐隐的遗憾。所有中，不知道怎么，又
那该多好啊……白如果是真的，
pr，它是我行上一个个看过去，直到从众人脸芯一号……”们自放低音量，轻云天微笑着设计的华，目光透过护目罩，环视一圈，才声道“它当然不是奔腾
实验室内外已经一片沸腾，所有人命想要说什没等他说完，都涨红了脸，拼么。各
，谁也说什么。听不清对方在种声音混杂
的衣服、手臂云天说着其他同僚，想要向白们什么。在可是没人停嘴，他用尽力气，拼命撕扯
看样子想要支撑不住的，颤声向他询问：“白总，真是他们还是任努力相互搀扶、副主任身体晃动，我们自己设计的处样子，可理器？”白云天身边，一种主
。”白云天笑容一敛，严“是！肃地回答道
“这是真的？”“
是真的！”
们，它真的是我们自”“您没己设计研发的第处理器？一款国产骗我
“我没骗你们！”
情从未有过的严肃，有。白云天表一点笑容都没
所待了大半辈子的老忽然失声痛哭起来。“在国内研究研究员，在他身前，几个曾
看到了！”终于，我终于
“这辈子白活！”“，没
在就是让我去够有遗了，够了死，也没，现憾了……”望
着一种痛哭流涕的老下来。安静员，玻璃墙外面吵研究杂的研究员们渐渐在
同样是眼他们的脸上，泪纵横。